Endress+Hauser GmbH+Co. KG, Berlin-Stahnsdorf
Neubau Drucksensorfertigung
Danish Technological Institute Taastrup (Dänemark)
Forschungsreinraum Klassen 100
Endress+Hauser GmbH+Co. KG, Maulburg
Sensor und Transducerfertigung im Bau 3
Zeiss SMT – AG, Oberkochen
Siligio GmbH – Ausbau DEMO- Fläche für X- Beam und TEM
| 2006 |
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| Projektsumme: | 0,7 Mio. €uro |




